หัวฉีดสเปรย์อัลตราโซนิกอัตโนมัติเต็มรูปแบบ

ระบบฉีดพ่นด้วยแสงอัลตราโซนิก

ระบบการฉีดพ่นด้วยแสงอัลตราโซนิกเป็นโซลูชั่นที่สมบูรณ์ในการเคลือบเซมิคอนดักเตอร์ด้วยฟิล์ม photoresist

เมื่อเทียบกับการเคลือบแบบหมุนแบบดั้งเดิม การเคลือบโฟโตรีซิสท์แบบสเปรย์อัลตราโซนิกมีข้อดีในการเคลือบที่สม่ำเสมอมากขึ้น โดยเฉพาะอย่างยิ่งในร่องที่มีอัตราส่วนกว้างยาวและโครงสร้างร่องรูปตัววี การเคลือบแบบหมุนด้วยแรงเหวี่ยงไม่สามารถฝากการเคลือบที่สม่ำเสมอตามผนังด้านข้างเพื่อสร้างฟิล์ม และที่นั่น ไม่ได้สะสมแสงมากเกินไปที่ด้านล่างของโพรง ได้รับการพิสูจน์แล้วว่าการฉีดพ่นโดยตรงด้วยเทคโนโลยีอัลตราโซนิกเป็นวิธีที่น่าเชื่อถือและมีประสิทธิภาพในการฝาก photoresist บนโครงสร้างจุลภาค 3 มิติ ซึ่งช่วยลดความล้มเหลวของอุปกรณ์ที่เกิดจากการสัมผัสกับโลหะมากเกินไปเพื่อต้านทานการเคลือบ

องค์ประกอบของอุปกรณ์:

เครื่องทั้งหมดประกอบด้วยหัวฉีดแบบอัลตราโซนิก, แหล่งจ่ายไฟขับเคลื่อนพิเศษ, ระบบเซอร์โวเชื่อมโยงสามแกน, ระบบปฏิบัติการอัจฉริยะ, ระบบจ่ายของเหลว, อุปกรณ์สร้างอากาศความเร็วต่ำ, เปลือกและกล่อง ฯลฯ

ข้อดี:

ครอบคลุมฟิล์มสม่ำเสมอสูงสำหรับโปรไฟล์พื้นผิวต่างๆ

ร่องที่มีอัตราส่วนกว้างยาวสามารถเคลือบด้วยความสม่ำเสมอสูง

สเปรย์ไม่อุดตัน

สามารถฝากชั้นบางไมครอนบาง ๆ ที่มีความสม่ำเสมอสูง

ผ่านการพิสูจน์แล้วว่าสามารถทำซ้ำได้

ความสม่ำเสมอสูง: การพ่นด้วยอัลตราโซนิกเป็นเทคโนโลยีการพ่นที่แม่นยำทางอุตสาหกรรมที่มีประสิทธิภาพสูง ใช้สำหรับการเคลือบฟิล์มซับไมครอนและนาโนที่มีความสม่ำเสมอสูง

การประหยัดวัสดุและการปกป้องสิ่งแวดล้อม: เนื่องจากสเปรย์แรงดันต่ำนั้นควบคุมได้ไม่ง่าย และของเหลวจะหยดลงบนพื้นผิวแทนที่จะสะท้อนกลับจากพื้นผิว จึงสามารถมั่นใจได้ว่าปริมาณการพ่นเกินจะลดลงอย่างมากและวัสดุจำนวนมาก สามารถประหยัดและลดการปล่อยสิ่งแวดล้อมได้ อัตราการใช้การเคลือบของการพ่นด้วยอัลตราโซนิกมากกว่า 4 เท่าของการพ่นด้วยของเหลวแบบดั้งเดิม

ใบสมัคร:

สำหรับเวเฟอร์ MEMS และพื้นผิวอื่นๆ ที่มีรูปร่างแตกต่างกัน

อุปกรณ์ฉีดพ่นอัลตราโซนิกส่วนใหญ่จะใช้ในเซลล์เชื้อเพลิง เซลล์แสงอาทิตย์ฟิล์มบาง เคลือบพลังงานแสงอาทิตย์ฟิล์มบาง เซลล์แสงอาทิตย์ perovskite เซลล์แสงอาทิตย์ เคลือบกราฟีน เซลล์แสงอาทิตย์ซิลิคอน เคลือบแก้ว วงจรอิเล็กทรอนิกส์ และอุตสาหกรรมอื่น ๆ หัวสเปรย์สามารถนำไปใช้กับสารละลายต่างๆ น้ำเสีย ของเหลวเคมี และเมือกน้ำมันยังสามารถทำให้เป็นละอองได้

ป้ายกำกับยอดนิยม: หัวฉีดสเปรย์อัลตราโซนิกอัตโนมัติเต็มรูปแบบ จีน ซัพพลายเออร์ ผู้ผลิต โรงงาน